خلاصه ای از سیستم لوله کشی عایق خلاء در کاربرد برودتی در صنعت تراشه

ساخت و طراحی سیستم لوله کشی عایق خلاء برای انتقال نیتروژن مایع به عهده تامین کننده می باشد. برای این پروژه، اگر تامین کننده شرایط اندازه گیری در محل را نداشته باشد، نقشه جهت خط لوله باید توسط خانه تهیه شود. سپس تامین کننده سیستم لوله کشی VI را برای سناریوهای نیتروژن مایع طراحی خواهد کرد.

تامین کننده باید طراحی کلی سیستم خط لوله را توسط طراحان مجرب با توجه به نقشه ها، پارامترهای تجهیزات، شرایط سایت، ویژگی های نیتروژن مایع و سایر عوامل ارائه شده توسط متقاضی تکمیل کند.

محتوای طرح شامل نوع لوازم جانبی سیستم، تعیین متریال و مشخصات لوله های داخلی و خارجی، طراحی عایق بندی، طرح مقطع پیش ساخته، فرم اتصال بین مقاطع لوله، براکت لوله داخلی می باشد. ، تعداد و موقعیت شیر ​​خلاء، حذف آب بندی گاز، نیاز مایع برودتی تجهیزات ترمینال و غیره. این طرح باید قبل از ساخت توسط پرسنل حرفه ای متقاضی تایید شود.

محتوای طراحی سیستم لوله کشی عایق خلاء گسترده است، در اینجا به برنامه های کاربردی HASS و تجهیزات MBE در برخی مشکلات رایج، یک چت ساده می پردازیم.

1 2

لوله کشی VI

مخزن ذخیره نیتروژن مایع معمولا طولانی از تجهیزات HASS Application یا MBE است. در حالی که لوله عایق خلاء وارد ساختمان داخل ساختمان می شود، با توجه به چیدمان اتاق در ساختمان و محل لوله صحرایی و مجرای هوا باید به طور منطقی از آن اجتناب شود. بنابراین، انتقال نیتروژن مایع به تجهیزات، حداقل صدها متر لوله است.

از آنجا که نیتروژن مایع فشرده خود حاوی مقدار زیادی گاز همراه با فاصله حمل و نقل است، حتی لوله آدیاباتیک خلاء مقدار زیادی نیتروژن را در فرآیند حمل و نقل تولید می کند. اگر نیتروژن تخلیه نشود یا انتشار آن برای برآوردن الزامات بسیار کم باشد، باعث مقاومت در برابر گاز و جریان ضعیف نیتروژن مایع می شود و در نتیجه سرعت جریان را کاهش می دهد.

اگر سرعت جریان کافی نباشد، دمای محفظه نیتروژن مایع تجهیزات را نمی توان کنترل کرد که در نهایت ممکن است منجر به آسیب دیدن تجهیزات یا کیفیت محصول شود.

بنابراین لازم است میزان نیتروژن مایع مورد استفاده تجهیزات پایانه (HASS Application یا تجهیزات MBE) محاسبه شود. در عین حال، مشخصات خط لوله با توجه به طول و جهت خط لوله نیز تعیین می شود.

با شروع از مخزن ذخیره نیتروژن مایع، اگر خط لوله اصلی لوله/شلنگ عایق خلاء DN50 (قطر داخلی φ50 میلی متر) باشد، لوله/شلنگ شاخه VI آن DN25 (قطر داخلی φ25 میلی متر) و شیلنگ بین لوله انشعاب و تجهیزات ترمینال DN15 (قطر داخلی φ15 میلی متر) است. سایر اتصالات برای سیستم لوله کشی VI، از جمله جداکننده فاز، گاززدا، دریچه خودکار گاز، شیر خاموش کننده VI/Cryogenic (پنوماتیک)، شیر تنظیم جریان پنوماتیک VI، شیر چک VI/Cryogenic، فیلتر VI، شیر تسکین ایمنی، سیستم پاکسازی، و پمپ خلاء و غیره

3

جداکننده فاز ویژه MBE

هر جداکننده فاز فشار معمولی ویژه MBE وظایف زیر را دارد:

1. سنسور سطح مایع و سیستم کنترل خودکار سطح مایع، و به سرعت از طریق یک جعبه کنترل الکتریکی نمایش داده می شود.

2. عملکرد کاهش فشار: ورودی مایع جداکننده مجهز به سیستم کمکی جداکننده است که فشار نیتروژن مایع 3-4 بار را در لوله اصلی تضمین می کند. هنگام ورود به فاز جداکننده، فشار را به طور پیوسته تا ≤ 1 بار کاهش دهید.

3. تنظیم جریان ورودی مایع: یک سیستم کنترل شناوری در داخل فاز جداکننده مرتب شده است. عملکرد آن تنظیم خودکار مقدار مصرف مایع در هنگام افزایش یا کاهش مصرف نیتروژن مایع است. این مزیت این است که نوسان شدید فشار ناشی از ورود مقدار زیادی نیتروژن مایع در هنگام باز شدن شیر پنوماتیک ورودی را کاهش می دهد و از فشار بیش از حد جلوگیری می کند.

4. عملکرد بافر، حجم موثر داخل جداکننده حداکثر جریان لحظه ای دستگاه را تضمین می کند.

5. سیستم پاکسازی: جریان هوا و بخار آب در جداکننده قبل از عبور نیتروژن مایع و تخلیه نیتروژن مایع در جداکننده پس از عبور نیتروژن مایع.

6. عملکرد تسکین خودکار بیش از حد فشار: تجهیزات هنگام عبور اولیه از نیتروژن مایع یا تحت شرایط خاص منجر به افزایش گاز شدن نیتروژن مایع می شود که منجر به اضافه فشار لحظه ای کل سیستم می شود. جداکننده فاز ما مجهز به شیر ایمنی و گروه شیر تسکین ایمنی است که می تواند به طور موثرتری از ثبات فشار در جداکننده اطمینان حاصل کند و از آسیب دیدن تجهیزات MBE در اثر فشار بیش از حد جلوگیری کند.

7. جعبه کنترل الکتریکی، نمایش زمان واقعی سطح مایع و مقدار فشار، می تواند سطح مایع در جداکننده و نیتروژن مایع را به مقدار رابطه کنترل تنظیم کند. در عین حال. در شرایط اضطراری، ترمز دستی جداکننده مایع گاز به شیر کنترل مایع، برای پرسنل سایت و ایمنی تجهیزات تضمین می شود.

4

گاززدای چند هسته ای برای کاربردهای HASS

مخزن ذخیره نیتروژن مایع در فضای باز حاوی مقدار زیادی نیتروژن است زیرا تحت فشار ذخیره و حمل می شود. در این سیستم، فاصله حمل و نقل خط لوله طولانی تر، زانویی بیشتر و مقاومت بیشتر است که باعث گاز شدن جزئی نیتروژن مایع می شود. لوله عایق خلاء در حال حاضر بهترین راه برای انتقال نیتروژن مایع است، اما نشت گرما اجتناب ناپذیر است، که همچنین منجر به گاز شدن جزئی نیتروژن مایع می شود. به طور خلاصه، نیتروژن مایع حاوی مقدار زیادی نیتروژن است که منجر به ایجاد مقاومت در برابر گاز می شود و در نتیجه جریان نیتروژن مایع صاف نیست.

تجهیزات اگزوز در لوله عایق خلاء، در صورت عدم وجود دستگاه اگزوز یا حجم ناکافی اگزوز، منجر به مقاومت در برابر گاز می شود. هنگامی که مقاومت گاز تشکیل شد، ظرفیت انتقال نیتروژن مایع تا حد زیادی کاهش می یابد.

گاززدای چند هسته ای که به طور انحصاری توسط شرکت ما طراحی شده است، می تواند نیتروژن تخلیه شده از لوله اصلی نیتروژن مایع را به حداکثر میزان تضمین کند و از تشکیل مقاومت در برابر گاز جلوگیری کند. و گازگیر چند هسته ای حجم داخلی کافی دارد، می تواند نقش مخزن ذخیره سازی بافر را ایفا کند، می تواند به طور موثر نیازهای حداکثر جریان لحظه ای خط لوله محلول را برآورده کند.

ساختار چند هسته ای منحصر به فرد ثبت شده، ظرفیت اگزوز کارآمدتر از انواع دیگر جداکننده های ما.

5
در ادامه مقاله قبلی، هنگام طراحی راه حل برای سیستم لوله کشی عایق خلاء برای کاربردهای برودتی در صنعت تراشه، مواردی وجود دارد که باید در نظر گرفته شوند.

1

دو نوع سیستم لوله کشی عایق خلاء

دو نوع سیستم لوله کشی عایق خلاء وجود دارد: سیستم استاتیک VI و سیستم پمپاژ خلاء دینامیک.

سیستم استاتیک VI به این معنی است که پس از ساخت هر لوله در کارخانه، تا درجه خلاء مشخص شده روی واحد پمپاژ وکیوم شده و آب بندی می شود. در نصب و راه اندازی میدانی، مدت زمان مشخصی نیازی به تخلیه مجدد به محل نیست.

مزیت سیستم Static VI هزینه نگهداری پایین است. هنگامی که سیستم لوله کشی در خدمت است، چندین سال بعد به تعمیر و نگهداری نیاز است. این سیستم خلاء برای سیستم هایی که نیازی به سرمایش بالا ندارند و مکان های باز برای نگهداری در محل مناسب است.

نقطه ضعف سیستم Static VI این است که خلاء با زمان کاهش می یابد. زیرا همه مواد همیشه گازهای کمی آزاد می کنند که با خواص فیزیکی مواد مشخص می شود. مواد موجود در ژاکت VI Pipe می تواند مقدار گاز آزاد شده توسط فرآیند را کاهش دهد، اما نمی تواند کاملاً جدا شود. این منجر به خلاء محیط خلاء مهر و موم شده، پایین تر و پایین تر خواهد شد، لوله عایق خلاء به تدریج توانایی خنک کننده را تضعیف می کند.

سیستم پمپاژ داینامیک خلاء به این معنی است که پس از ساخته شدن و شکل گیری لوله، لوله همچنان در کارخانه با توجه به فرآیند نشت یابی تخلیه می شود، اما وکیوم قبل از تحویل آب بندی نمی شود. پس از اتمام نصب میدانی، لایه‌های خلاء همه لوله‌ها باید توسط شیلنگ‌های فولادی ضد زنگ به یک یا چند واحد متصل شوند و از یک پمپ خلاء اختصاصی کوچک برای وکیوم کردن لوله‌ها در مزرعه استفاده شود. پمپ خلاء مخصوص دارای سیستم اتوماتیک برای نظارت بر خلاء در هر زمان و در صورت نیاز وکیوم می باشد. این سیستم به صورت 24 ساعته کار می کند.

نقطه ضعف سیستم پمپ خلاء دینامیک این است که خلاء باید توسط برق حفظ شود.

مزیت سیستم پمپ خلاء دینامیک این است که درجه خلاء بسیار پایدار است. ترجیحاً در محیط داخلی و الزامات عملکرد خلاء پروژه های بسیار بالا استفاده می شود.

سیستم پمپاژ خلاء پویا ما، کل پمپ خلاء ویژه یکپارچه تلفن همراه برای اطمینان از خلاء تجهیزات، طرح مناسب و معقول برای اطمینان از تأثیر خلاء، کیفیت لوازم جانبی خلاء برای اطمینان از کیفیت خلاء.

برای پروژه MBE، زیرا تجهیزات در اتاق تمیز هستند و تجهیزات برای مدت طولانی کار می کنند. بیشتر سیستم لوله کشی عایق خلاء در فضای بسته روی لایه میانی اتاق تمیز قرار دارد. اجرای تعمیر و نگهداری خلاء سیستم لوله کشی در آینده غیرممکن است. این امر تأثیر جدی بر عملکرد طولانی مدت سیستم خواهد داشت. در نتیجه، پروژه MBE تقریباً تمام سیستم پمپاژ خلاء دینامیکی را به کار می گیرد.

2

سیستم کاهش فشار

سیستم کاهش فشار خط اصلی از گروه شیر تسکین ایمنی استفاده می کند. Safety Relief Valve Group به عنوان یک سیستم حفاظت ایمنی در هنگام فشار بیش از حد استفاده می شود، لوله های VI در استفاده معمولی قابل تنظیم نیستند.

شیر تسکین ایمنی یک جزء کلیدی برای اطمینان از اینکه سیستم خط لوله تحت فشار بیش از حد نخواهد بود، عملیات ایمن است، بنابراین در عملیات خط لوله ضروری است. اما شیر اطمینان طبق آیین نامه، باید هر سال برای بررسی ارسال شود. هنگامی که یک شیر اطمینان استفاده می شود و دیگری آماده می شود، هنگامی که یک شیر اطمینان برداشته می شود، شیر اطمینان دیگر هنوز در سیستم خط لوله است تا از عملکرد طبیعی خط لوله اطمینان حاصل شود.

گروه شیر ایمنی دارای دو شیر ایمنی DN15 است که یکی برای استفاده و دیگری برای آماده به کار است. در حالت عادی، تنها یک شیر تسکین ایمنی به سیستم لوله کشی VI متصل است و به طور عادی کار می کند. سایر شیرهای ایمنی از لوله داخلی جدا شده و در هر زمان قابل تعویض هستند. دو سوپاپ اطمینان از طریق حالت سوئیچینگ سوپاپ جانبی متصل و قطع می شوند.

گروه شیر تسکین ایمنی مجهز به گیج فشار جهت بررسی فشار سیستم لوله کشی در هر زمان می باشد.

گروه شیر تسکین ایمنی دارای شیر تخلیه می باشد. می توان از آن برای تخلیه هوای لوله در هنگام تصفیه استفاده کرد و نیتروژن را می توان در زمانی که سیستم نیتروژن مایع در حال کار است تخلیه کرد.

داو

تجهیزات برودتی HL

HL Cryogenic Equipment که در سال 1992 تاسیس شد، یک برند وابسته به شرکت تجهیزات برودتی مقدس چنگدو در چین است. تجهیزات برودتی HL متعهد به طراحی و ساخت سیستم لوله کشی برودتی عایق شده با خلاء بالا و تجهیزات پشتیبانی مربوطه است.

در دنیای امروزی که به سرعت در حال تغییر است، ارائه فناوری پیشرفته در عین به حداکثر رساندن صرفه جویی در هزینه برای مشتریان یک کار چالش برانگیز است. به مدت 30 سال، شرکت تجهیزات برودتی HL تقریباً در تمام تجهیزات و صنایع برودتی دارای صحنه کاربردی عمیق تری است، تجربه غنی و قابل اعتمادی را انباشته کرده است، و به طور مستمر به کاوش و تلاش برای همگام شدن با آخرین پیشرفت ها در تمام جنبه های زندگی می پردازد و به مشتریان ارائه می دهد. راه حل های جدید، عملی و کارآمد، مشتریان ما را در بازار رقابتی تر می کند.

For more information, please visit the official website www.hlcryo.com, or email to info@cdholy.com .

4


زمان ارسال: اوت-25-2021

پیام خود را بگذارید