کیس ها و راه حل های نیمه هادی و تراشه

/محلول‌های کیس-نیمه‌رسانا-و-تراشه/
/محلول‌های کیس-نیمه‌رسانا-و-تراشه/
/محلول‌های کیس-نیمه‌رسانا-و-تراشه/
/محلول‌های کیس-نیمه‌رسانا-و-تراشه/

سیستم های خنک کننده نیتروژن مایع به طور گسترده در صنعت نیمه هادی و تراشه استفاده می شود، از جمله فرآیند،

  • فناوری اپیتاکسی پرتو مولکولی (MBE)
  • تست تراشه بعد از بسته COB

محصولات مرتبط

اپیتاکسی پرتو مولکولی

فناوری اپیتاکسی پرتو مولکولی (MBE) در دهه 1950 برای تهیه مواد لایه نازک نیمه هادی با استفاده از فناوری تبخیر خلاء توسعه یافت.با توسعه فناوری خلاء فوق العاده بالا، کاربرد فناوری به حوزه علم نیمه هادی ها نیز گسترش یافته است.

HL به تقاضای سیستم خنک کننده نیتروژن مایع MBE، ستون فقرات فنی سازماندهی شده برای توسعه موفقیت آمیز یک سیستم خنک کننده نیتروژن مایع ویژه MBE برای فناوری MBE و مجموعه کاملی از سیستم لوله کشی عایق خلاء، که در بسیاری از شرکت ها، دانشگاه ها و موسسات تحقیقاتی استفاده شده است، توجه کرده است. .

مشکلات رایج صنعت نیمه هادی و تراشه عبارتند از:

  • فشار نیتروژن مایع به تجهیزات پایانه (MBE).جلوگیری از اضافه بار فشار از آسیب رساندن به تجهیزات پایانه (MBE).
  • چندین کنترل ورودی و خروجی مایعات برودتی
  • دمای نیتروژن مایع در تجهیزات پایانه
  • مقدار معقولی از انتشار گازهای برودتی
  • (خودکار) سوئیچینگ خطوط اصلی و شعبه
  • تنظیم فشار (کاهش) و پایداری VIP
  • پاک کردن ناخالصی های احتمالی و باقی مانده یخ از مخزن
  • زمان پر کردن تجهیزات مایع ترمینال
  • پیش خنک کردن خط لوله
  • مقاومت مایع در سیستم VIP
  • کنترل از دست دادن نیتروژن مایع در طول سرویس ناپیوسته سیستم

لوله عایق خلاء HL (VIP) طبق کد ASME B31.3 Pressure Piping به عنوان یک استاندارد ساخته شده است.تجربه مهندسی و توانایی کنترل کیفیت برای اطمینان از کارایی و مقرون به صرفه بودن کارخانه مشتری.

راه حل ها

HL Cryogenic Equipment سیستم لوله‌کشی عایق خلاء را برای برآوردن الزامات و شرایط صنعت نیمه‌رسانا و تراشه به مشتریان ارائه می‌دهد:

1. سیستم مدیریت کیفیت: کد لوله کشی فشار ASME B31.3.

2. یک جداکننده فاز ویژه با ورودی و خروجی مایع چندگانه برودتی با عملکرد کنترل خودکار نیازهای انتشار گاز، نیتروژن مایع بازیافتی و دمای نیتروژن مایع را برآورده می کند.

3. طراحی کافی و به موقع اگزوز تضمین می کند که تجهیزات ترمینال همیشه در مقدار فشار طراحی شده کار می کنند.

4. سد گاز مایع در لوله VI عمودی در انتهای خط لوله VI قرار می گیرد.سد گاز مایع از اصل مهر و موم گاز برای مسدود کردن گرما از انتهای خط لوله VI به لوله VI استفاده می کند و به طور موثری از دست دادن نیتروژن مایع را در طول سرویس ناپیوسته و متناوب سیستم کاهش می دهد.

5.VI لوله کشی کنترل شده توسط سری شیر عایق خلاء (VIV): شامل شیر خاموش کننده عایق خلاء (پنوماتیک)، شیر چک عایق خلاء، شیر تنظیم کننده عایق خلاء و غیره. انواع مختلف VIV را می توان برای کنترل VIP به صورت مدولار ترکیب کرد. ضروری.VIV با پیش ساخته VIP در سازنده، بدون عملیات عایق در محل ادغام شده است.واحد مهر و موم VIV به راحتی قابل تعویض است.(HL مارک شیر برودتی تعیین شده توسط مشتریان را می پذیرد و سپس شیرهای عایق خلاء را توسط HL می سازد. برخی از مارک ها و مدل های شیر ممکن است نتوانند به شیرهای عایق خلاء تبدیل شوند.)

6. تمیزی، در صورت وجود الزامات اضافی برای تمیزی سطح لوله داخلی.پیشنهاد می شود که مشتریان لوله های فولادی ضد زنگ BA یا EP را به عنوان لوله های داخلی VIP برای کاهش بیشتر ریزش فولاد ضد زنگ انتخاب کنند.

7. فیلتر عایق خلاء: ناخالصی های احتمالی و باقی مانده یخ را از مخزن پاک کنید.

8. پس از چند روز یا بیشتر خاموش شدن یا تعمیر و نگهداری، بسیار ضروری است که لوله VI و تجهیزات پایانه قبل از ورود مایع برودتی از قبل خنک شوند تا از سرباره یخ پس از ورود مستقیم مایع برودتی به لوله VI و تجهیزات ترمینال جلوگیری شود.عملکرد پیش خنک کننده باید در طراحی در نظر گرفته شود.حفاظت بهتری برای تجهیزات ترمینال و تجهیزات پشتیبانی VI Piping مانند شیرها فراهم می کند.

9. کت و شلوار برای سیستم لوله کشی عایق شده با خلاء استاتیک و دینامیک (انعطاف پذیر).

10. سیستم لوله‌کشی عایق‌شده با خلاء دینامیک (انعطاف‌پذیر): شامل شیلنگ‌های انعطاف‌پذیر VI و/یا لوله VI، شیلنگ‌های جامپر، سیستم دریچه‌های عایق‌شده خلاء، جداکننده‌های فاز و سیستم پمپ خلاء دینامیک (شامل پمپ‌های خلاء، دریچه‌های برقی و گیج‌های خلاء و غیره). ).طول شیلنگ منعطف VI منفرد را می توان با توجه به نیاز کاربر سفارشی کرد.

11. انواع اتصال: نوع اتصال سرنیزه خلاء (VBC) و اتصال جوش داده شده را می توان انتخاب کرد.نوع VBC نیازی به درمان عایق در محل ندارد.