خلاصه ای از اپیتاکس پرتو مولکولی (MBE)
فناوری Epitaxy پرتو مولکولی (MBE) در دهه 1950 برای تهیه مواد فیلم نازک نیمه هادی با استفاده از فناوری تبخیر خلاء تهیه شد. با توسعه فناوری خلاء فوق العاده بالا ، کاربرد فناوری به حوزه علم نیمه هادی گسترش یافته است.
انگیزه تحقیقات مواد نیمه هادی تقاضا برای دستگاه های جدید است که ممکن است عملکرد سیستم را بهبود بخشد. به نوبه خود ، فناوری جدید مواد ممکن است تجهیزات جدید و فناوری جدید تولید کند. Epitaxy پرتو مولکولی (MBE) یک فناوری خلاء بالا برای رشد لایه اپیتاکسیال (معمولاً نیمه هادی) است. از پرتو گرما اتمهای منبع یا مولکول هایی که بر بستر تک کریستالی تأثیر می گذارد استفاده می کند. ویژگی های خلاء فوق العاده بالا این فرآیند امکان می دهد فلز سازی درجا و رشد مواد عایق بر روی سطوح نیمه هادی تازه رشد یافته و در نتیجه رابط های بدون آلودگی ایجاد شود.
فناوری MBE
اپیتاکسی پرتوی مولکولی در خلاء بالا یا خلاء فوق العاده بالا انجام شد (1 10 10-8PA) محیط. مهمترین جنبه اپیتاکس پرتو مولکولی میزان رسوب پایین آن است که معمولاً به فیلم اجازه می دهد تا با سرعت کمتر از 3000 نانومتر در ساعت رشد کند. چنین میزان رسوب پایین برای دستیابی به همان سطح پاکیزگی مانند سایر روشهای رسوب ، به خلاء کافی نیاز دارد.
برای دیدار با خلاء فوق العاده بلند که در بالا توضیح داده شد ، دستگاه MBE （سلول Knudsen） یک لایه خنک کننده دارد و محیط خلاء فوق العاده بلند محفظه رشد باید با استفاده از یک سیستم گردش خون نیتروژن مایع حفظ شود. نیتروژن مایع دمای داخلی دستگاه را به 77 کلوین (196 درجه سانتیگراد) خنک می کند. محیط دمای پایین می تواند محتوای ناخالصی ها را در خلاء کاهش داده و شرایط بهتری را برای رسوب فیلم های نازک فراهم کند. بنابراین ، یک سیستم گردش خون خنک کننده نیتروژن مایع اختصاصی برای تجهیزات MBE لازم است تا یک منبع مداوم و مداوم نیتروژن مایع -196 درجه سانتیگراد را تأمین کند.
سیستم گردش خون خنک کننده نیتروژن مایع
سیستم گردش خون خنک کننده نیتروژن خلاء عمدتا شامل ،
tank مخزن کرایوژنیک
● لوله / شیلنگ خلاء خلاء اصلی و شاخه ای
● جداکننده فاز ویژه و لوله اگزوز جیب خلاء
● دریچه های مختلف جلیقه خلاء
● سد مایع گاز
filter فیلتر جلیقه خلاء
system سیستم پمپ خلاء پویا
system سیستم پیشگیری و تصفیه مجدد
شرکت تجهیزات Cryogenic HL متوجه تقاضای سیستم خنک کننده نیتروژن مایع MBE ، ستون فقرات فنی سازمان یافته برای توسعه موفقیت آمیز یک سیستم مسکونی نیتروژن مایع MBE برای فناوری MBE و مجموعه کاملی از انسول خلاء شده است.edسیستم لوله کشی ، که در بسیاری از شرکت ها ، دانشگاه ها و موسسات تحقیقاتی مورد استفاده قرار گرفته است.
تجهیزات کرایوژنیک HL
تجهیزات کرایوژنیک HL که در سال 1992 تأسیس شد ، یک برند وابسته به شرکت تجهیزات کرایوژنیک مقدس Chengdu در چین است. تجهیزات Cryogenic HL به طراحی و ساخت سیستم لوله کشی کرایوژنیک عایق بندی شده با خلاء بالا و تجهیزات پشتیبانی مرتبط متعهد است.
برای اطلاعات بیشتر ، لطفاً به وب سایت رسمی مراجعه کنیدwww.hlcryo.com، یا ایمیل بهinfo@cdholy.comبشر
زمان پست: مه -06-2021
