خلاصه ای از اپیتاکسی پرتو مولکولی (MBE)
فناوری اپیتاکسی پرتو مولکولی (MBE) در دهه 1950 برای تهیه مواد لایه نازک نیمه هادی با استفاده از فناوری تبخیر خلاء توسعه یافت. با توسعه فناوری خلاء فوق العاده بالا، کاربرد فناوری به حوزه علم نیمه هادی ها نیز گسترش یافته است.
انگیزه تحقیقات مواد نیمه هادی، تقاضا برای دستگاه های جدید است که ممکن است عملکرد سیستم را بهبود بخشد. به نوبه خود، فناوری مواد جدید ممکن است تجهیزات جدید و فناوری جدید تولید کند. اپیتاکسی پرتو مولکولی (MBE) یک فناوری خلاء بالا برای رشد لایه همپایی (معمولاً نیمه هادی) است. از پرتو گرمایی اتم‌های منبع یا مولکول‌هایی استفاده می‌کند که بر بستر تک کریستالی اثر می‌گذارند. ویژگی‌های خلاء فوق‌العاده بالا این فرآیند، امکان متالیزاسیون درجا و رشد مواد عایق را بر روی سطوح نیمه‌رسانای تازه رشد یافته فراهم می‌کند و در نتیجه رابط‌های بدون آلودگی ایجاد می‌کند.
فناوری MBE
اپیتاکسی پرتو مولکولی در خلاء بالا یا خلاء فوق‌العاده بالا (1×10) انجام شد.-8Pa) محیط. مهمترین جنبه اپیتاکسی پرتو مولکولی، نرخ رسوب کم آن است، که معمولا به فیلم اجازه می دهد تا با سرعت کمتر از 3000 نانومتر در ساعت رشد کند. چنین نرخ رسوب پایینی نیاز به خلاء کافی برای دستیابی به همان سطح تمیزی مانند سایر روش‌های رسوب‌گذاری دارد.
برای برآورده کردن خلاء فوق العاده بالا که در بالا توضیح داده شد، دستگاه MBE (سلول کنودسن) دارای یک لایه خنک کننده است و محیط خلاء فوق العاده بالا محفظه رشد باید با استفاده از یک سیستم گردش نیتروژن مایع حفظ شود. نیتروژن مایع دمای داخلی دستگاه را تا 77 کلوین (-196 درجه سانتیگراد) خنک می کند. محیط دمای پایین می تواند محتوای ناخالصی ها را در خلاء کاهش دهد و شرایط بهتری را برای رسوب لایه های نازک فراهم کند. بنابراین، یک سیستم گردش خنک کننده نیتروژن مایع اختصاصی برای تجهیزات MBE لازم است تا یک منبع مداوم و ثابت از -196 درجه سانتیگراد نیتروژن مایع را فراهم کند.
سیستم گردش خون خنک کننده نیتروژن مایع
سیستم گردش خون خنک کننده نیتروژن مایع خلاء عمدتاً شامل:
● مخزن برودتی
● لوله وکیوم ژاکت دار اصلی و شاخه / شیلنگ ژاکت دار وکیوم
● جداکننده فاز ویژه MBE و لوله اگزوز با روکش خلاء
● انواع شیرهای خلاء ژاکت دار
● مانع گاز-مایع
● فیلتر جاروبرقی
● سیستم پمپ خلاء پویا
● سیستم گرمایش مجدد پیش خنک کننده و پاکسازی
شرکت تجهیزات برودتی HL به تقاضای سیستم خنک کننده نیتروژن مایع MBE، ستون فقرات فنی سازماندهی شده برای توسعه موفقیت آمیز سیستم خنک کننده نیتروژن مایع ویژه MBE برای فناوری MBE و مجموعه کاملی از عایق خلاء توجه کرده است.edسیستم لوله کشی که در بسیاری از شرکت ها، دانشگاه ها و موسسات تحقیقاتی مورد استفاده قرار گرفته است.
تجهیزات برودتی HL
HL Cryogenic Equipment که در سال 1992 تاسیس شد، یک برند وابسته به شرکت تجهیزات برودتی مقدس چنگدو در چین است. تجهیزات برودتی HL متعهد به طراحی و ساخت سیستم لوله کشی برودتی عایق شده با خلاء بالا و تجهیزات پشتیبانی مربوطه است.
برای اطلاعات بیشتر، لطفا به وب سایت رسمی مراجعه کنیدwww.hlcryo.com، یا ایمیل بهinfo@cdholy.com.
زمان ارسال: مه-06-2021
