فناوری
اپیتاکسی پرتو مولکولی یا MBE، تکنیکی جدید برای رشد لایه‌های نازک کریستالی با کیفیت بالا روی زیرلایه‌های کریستالی است. در شرایط خلاء فوق العاده بالا، اجاق گاز مجهز به انواع اجزای مورد نیاز است و بخار تولید می‌کند، از طریق سوراخ‌هایی که پس از موازی کردن پرتو اتمی یا مولکولی تشکیل شده‌اند، تزریق مستقیم به دمای مناسب زیرلایه تک کریستالی، کنترل پرتو مولکولی به زیرلایه و اسکن همزمان آن، می‌تواند مولکول‌ها یا اتم‌ها را در لایه‌های هم‌تراز کریستالی ایجاد کند تا یک لایه نازک روی زیرلایه "رشد" ایجاد کنند.
برای عملکرد طبیعی تجهیزات MBE، نیتروژن مایع با خلوص بالا، فشار پایین و فوق تمیز باید به طور مداوم و پایدار به محفظه خنک کننده تجهیزات منتقل شود. به طور کلی، مخزنی که نیتروژن مایع را تأمین می‌کند، فشار خروجی بین 0.3MPa و 0.8MPa دارد. نیتروژن مایع در دمای -196 درجه سانتیگراد به راحتی در حین انتقال از طریق خط لوله به نیتروژن تبخیر می‌شود. هنگامی که نیتروژن مایع با نسبت گاز به مایع حدود 1:700 در خط لوله به گاز تبدیل شود، مقدار زیادی از فضای جریان نیتروژن مایع را اشغال می‌کند و جریان طبیعی را در انتهای خط لوله نیتروژن مایع کاهش می‌دهد. علاوه بر این، در مخزن ذخیره نیتروژن مایع، احتمالاً زباله‌هایی وجود دارد که تمیز نشده‌اند. در خط لوله نیتروژن مایع، وجود هوای مرطوب نیز منجر به تولید سرباره یخ می‌شود. اگر این ناخالصی‌ها به داخل تجهیزات تخلیه شوند، آسیب غیرقابل پیش‌بینی به تجهیزات وارد می‌شود.
بنابراین، نیتروژن مایع در مخزن ذخیره‌سازی در فضای باز به تجهیزات MBE در کارگاه بدون گرد و غبار با راندمان بالا، پایداری و تمیزی منتقل می‌شود و فشار پایین، بدون نیتروژن، بدون ناخالصی، 24 ساعت بدون وقفه، چنین سیستم کنترل حمل و نقلی یک محصول واجد شرایط است.
تطبیق تجهیزات MBE
از سال ۲۰۰۵، شرکت HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) در حال بهینه‌سازی و بهبود این سیستم و همکاری با تولیدکنندگان بین‌المللی تجهیزات MBE بوده است. تولیدکنندگان تجهیزات MBE، از جمله DCA، REBER، با شرکت ما روابط همکاری دارند. تولیدکنندگان تجهیزات MBE، از جمله DCA و REBER، در تعداد زیادی از پروژه‌ها همکاری داشته‌اند.
شرکت Riber SA یکی از پیشگامان جهانی در ارائه محصولات اپیتاکسی پرتو مولکولی (MBE) و خدمات مرتبط با آن برای تحقیقات نیمه‌هادی‌های مرکب و کاربردهای صنعتی است. دستگاه Riber MBE می‌تواند لایه‌های بسیار نازکی از مواد را با کنترل‌های بسیار بالا روی زیرلایه رسوب دهد. تجهیزات خلاء شرکت HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) به Riber SA مجهز شده است. بزرگترین تجهیزات Riber 6000 و کوچکترین آنها Compact 21 است. این تجهیزات در وضعیت خوبی قرار دارند و توسط مشتریان شناخته شده‌اند.
DCA پیشروترین MBE اکسیدی در جهان است. از سال ۱۹۹۳، توسعه سیستماتیک تکنیک‌های اکسیداسیون، گرمایش بستر آنتی‌اکسیدانی و منابع آنتی‌اکسیدانی انجام شده است. به همین دلیل، بسیاری از آزمایشگاه‌های پیشرو، فناوری اکسید DCA را انتخاب کرده‌اند. سیستم‌های MBE نیمه‌هادی کامپوزیتی در سراسر جهان مورد استفاده قرار می‌گیرند. سیستم گردش نیتروژن مایع VJ از تجهیزات برودتی HL (HL CRYO) و تجهیزات MBE مدل‌های مختلف DCA، تجربه تطبیق در بسیاری از پروژه‌ها، مانند مدل P600، R450، SGC800 و غیره را دارند.
جدول عملکرد
| موسسه فیزیک فنی شانگهای، آکادمی علوم چین |
| یازدهمین موسسه فناوری الکترونیک چین |
| موسسه نیمه‌هادی‌ها، آکادمی علوم چین |
| هواوی |
| آکادمی دامو علی‌بابا |
| شرکت فناوری پاورتک |
| شرکت دلتا الکترونیکس |
| فوتونیک سوژو اوربرایت |
زمان ارسال: ۲۶ مه ۲۰۲۱
