پروژه Chip MBE در سالهای گذشته به پایان رسید

فناوری

Epitaxy پرتو مولکولی ، یا MBE ، یک روش جدید برای رشد فیلم های نازک با کیفیت بالا از کریستال ها بر روی بسترهای کریستالی است. در شرایط خلاء فوق العاده بلند ، با استفاده از اجاق گاز گرمایش مجهز به انواع اجزای مورد نیاز و تولید بخار ، از طریق سوراخ هایی که پس از جمع کردن پرتوی پرتوی اتمی یا مولکولی ، تزریق مستقیم به دمای مناسب بستر کریستال تک ، کنترل پرتوی مولکولی به سمت اسکن بستر در همان زمان ، می تواند مولکول ها یا اتم ها را در لایه های تراز کریستالی ایجاد کند تا یک فیلم نازک روی "رشد" بستر تشکیل دهد.

برای عملکرد عادی تجهیزات MBE ، خلوص بالا ، فشار کم و نیتروژن مایع فوق العاده تمیز لازم است که به طور مداوم و پایدار به محفظه خنک کننده تجهیزات منتقل شود. به طور کلی ، مخزن که نیتروژن مایع را تأمین می کند ، فشار خروجی بین 0.3MPa و 0.8MPa.liquid در -196 دارد. در هنگام حمل و نقل خط لوله به راحتی در نیتروژن بخار می شود. هنگامی که نیتروژن مایع با نسبت مایع گاز در حدود 1: 700 در خط لوله گاز می شود ، مقدار زیادی از فضای جریان نیتروژن مایع را اشغال می کند و جریان طبیعی را در انتهای خط لوله نیتروژن مایع کاهش می دهد. علاوه بر این ، در مخزن ذخیره نیتروژن مایع ، احتمالاً آوار وجود دارد که تمیز نشده است. در خط لوله نیتروژن مایع ، وجود هوای مرطوب نیز منجر به تولید سرباره یخی خواهد شد. اگر این ناخالصی ها در تجهیزات تخلیه شوند ، باعث آسیب غیرقابل پیش بینی تجهیزات می شود.

بنابراین ، نیتروژن مایع موجود در مخزن ذخیره سازی در فضای باز در کارگاه بدون گرد و غبار با راندمان ، پایداری و تمیز به تجهیزات MBE منتقل می شود و فشار کم ، نیتروژن ، بدون ناخالصی ، 24 ساعت بدون وقفه ، چنین سیستم کنترل حمل و نقل است یک محصول واجد شرایط

TCM (4)
TCM (1)
TCM (3)

تجهیزات MBE تطبیق

از سال 2005 ، تجهیزات Cryogenic HL (HL Cryo) بهینه سازی و بهبود این سیستم و همکاری با تولید کنندگان تجهیزات بین المللی MBE است. تولید کنندگان تجهیزات MBE ، از جمله DCA ، Reber ، با شرکت ما روابط تعاونی دارند. تولید کنندگان تجهیزات MBE ، از جمله DCA و Reber ، در تعداد زیادی از پروژه ها همکاری کرده اند.

Riber SA یک ارائه دهنده پیشرو جهانی محصولات Epitaxy پرتو مولکولی (MBE) و خدمات مرتبط با آن برای تحقیقات نیمه هادی مرکب و کاربردهای صنعتی است. دستگاه Riber MBE می تواند لایه های بسیار نازک مواد را بر روی بستر ، با کنترل های بسیار بالایی قرار دهد. تجهیزات خلاء تجهیزات Cryogenic HL (HL Cryo) مجهز به Riber SA بزرگترین تجهیزات Riber 6000 و کوچکترین آن جمع و جور 21 است. در شرایط خوبی است و توسط مشتریان شناخته شده است.

DCA پیشرو در جهان اکسید MBE است. از سال 1993 ، توسعه سیستماتیک تکنیک های اکسیداسیون ، گرمایش بستر آنتی اکسیدانی و منابع آنتی اکسیدانی انجام شده است. به همین دلیل ، بسیاری از آزمایشگاه های پیشرو فناوری DCA اکسید را انتخاب کرده اند. سیستم های نیمه هادی کامپوزیت MBE در سراسر جهان استفاده می شود. سیستم گردش خون نیتروژن مایع VJ از تجهیزات Cryogenic HL (HL Cryo) و تجهیزات MBE از چندین مدل DCA تجربه تطبیق در بسیاری از پروژه ها ، مانند مدل P600 ، R450 ، SGC800 و غیره را دارند.

TCM (2)

جدول عملکرد

انستیتوی فیزیک فنی شانگهای ، آکادمی علوم چین
یازدهمین موسسه شرکت فناوری الکترونیک چین
انستیتوی نیمه هادی ها ، آکادمی علوم چین
هواوی
آکادمی Alibaba Damo
شرکت Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
فوتونیک Suzhou Everbright

زمان پست: مه 26-2021

پیام خود را ترک کنید