اخبار - پروژه Chip MBE در سال های گذشته تکمیل شده است

تکنولوژی

اپیتاکسی پرتو مولکولی یا MBE، یک تکنیک جدید برای رشد لایه های نازک با کیفیت بالا از کریستال ها بر روی بسترهای کریستالی است. در شرایط خلاء فوق‌العاده بالا، اجاق‌های گرمایشی مجهز به انواع اجزای مورد نیاز و تولید بخار، از طریق سوراخ‌هایی که پس از تطبیق پرتوهای اتمی یا مولکولی تشکیل می‌شوند، تزریق مستقیم به دمای مناسب بستر تک کریستال، کنترل پرتو مولکولی به همزمان با اسکن بستر، می‌تواند مولکول‌ها یا اتم‌ها را در لایه‌های هم ترازی کریستالی بسازد تا یک لایه نازک روی یک زیرلایه "رشد" تشکیل دهد.

برای عملکرد عادی تجهیزات MBE، نیتروژن مایع با خلوص بالا، فشار کم و فوق تمیز لازم است که به طور مداوم و پایدار به محفظه خنک کننده تجهیزات منتقل شود. به طور کلی، مخزنی که نیتروژن مایع را تامین می کند دارای فشار خروجی بین 0.3 مگاپاسکال و 0.8 مگاپاسکال است. نیتروژن مایع در دمای 196- درجه سانتیگراد به راحتی در طول حمل و نقل خط لوله به نیتروژن تبخیر می شود. هنگامی که نیتروژن مایع با نسبت گاز به مایع حدود 1:700 در خط لوله گازی می شود، مقدار زیادی از فضای جریان نیتروژن مایع را اشغال می کند و جریان عادی را در انتهای خط لوله نیتروژن مایع کاهش می دهد. علاوه بر این، در مخزن ذخیره نیتروژن مایع، احتمالاً زباله هایی وجود دارد که تمیز نشده اند. در خط لوله نیتروژن مایع، وجود هوای مرطوب نیز منجر به تولید سرباره یخ خواهد شد. اگر این ناخالصی ها به داخل تجهیزات تخلیه شود، آسیب غیرقابل پیش بینی به تجهیزات وارد می کند.

بنابراین، نیتروژن مایع در مخزن ذخیره در فضای باز به تجهیزات MBE در کارگاه عاری از گرد و غبار با راندمان بالا، پایداری و تمیزی منتقل می شود و فشار کم، بدون نیتروژن، بدون ناخالصی، 24 ساعت بدون وقفه، چنین سیستم کنترل حمل و نقل است. یک محصول واجد شرایط

تطبیق تجهیزات MBE

از سال 2005، HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) این سیستم را بهینه سازی و بهبود بخشیده و با سازندگان بین المللی تجهیزات MBE همکاری می کند. سازندگان تجهیزات MBE، از جمله DCA، REBER، روابط همکاری با شرکت ما دارند. سازندگان تجهیزات MBE، از جمله DCA و REBER، در تعداد زیادی از پروژه ها همکاری کرده اند.

Riber SA یک ارائه دهنده جهانی محصولات اپیتاکسی پرتو مولکولی (MBE) و خدمات مرتبط برای تحقیقات نیمه هادی مرکب و کاربردهای صنعتی است. دستگاه Riber MBE می تواند لایه های بسیار نازکی از مواد را با کنترل های بسیار بالا بر روی زیرلایه قرار دهد. تجهیزات وکیوم تجهیزات برودتی HL (HL CRYO) مجهز به Riber SA می باشد.

DCA پیشروترین MBE اکسید در جهان است. از سال 1993، توسعه سیستماتیک تکنیک های اکسیداسیون، گرمایش بستر آنتی اکسیدانی و منابع آنتی اکسیدانی انجام شده است. به همین دلیل، بسیاری از آزمایشگاه های پیشرو تکنولوژی اکسید DCA را انتخاب کرده اند. سیستم های نیمه هادی کامپوزیت MBE در سراسر جهان استفاده می شود. سیستم گردش نیتروژن مایع VJ تجهیزات برودتی HL (HL CRYO) و تجهیزات MBE چندین مدل از DCA دارای تجربه تطبیقی در بسیاری از پروژه‌ها مانند مدل P600، R450، SGC800 و غیره هستند.