کیس‌ها و راهکارهای نیمه‌هادی و تراشه

تجهیزات برودتی HL سیستم لوله‌کشی عایق‌بندی شده با خلاء را برای برآورده کردن الزامات و شرایط صنعت نیمه‌هادی و تراشه به مشتریان ارائه می‌دهد:

۱. سیستم مدیریت کیفیت: استاندارد لوله‌کشی تحت فشار ASME B31.3.

۲. جداکننده فاز ویژه با ورودی و خروجی چندگانه مایع برودتی با عملکرد کنترل خودکار، الزامات انتشار گاز، نیتروژن مایع بازیافتی و دمای نیتروژن مایع را برآورده می‌کند.

۳. طراحی مناسب و به موقع اگزوز تضمین می‌کند که تجهیزات ترمینال همیشه در محدوده فشار طراحی شده کار می‌کنند.

۴. مانع گاز-مایع در لوله عمودی VI در انتهای خط لوله VI قرار می‌گیرد. مانع گاز-مایع از اصل آب‌بندی گاز برای جلوگیری از ورود گرما از انتهای خط لوله VI به لوله‌کشی VI استفاده می‌کند و به طور موثر از اتلاف نیتروژن مایع در حین سرویس ناپیوسته و متناوب سیستم جلوگیری می‌کند.

۵. لوله‌کشی VI کنترل‌شده توسط سری شیرهای عایق خلاء (VIV): شامل شیر قطع و وصل عایق خلاء (پنوماتیک)، شیر یک‌طرفه عایق خلاء، شیر تنظیم‌کننده عایق خلاء و غیره. انواع مختلف VIV را می‌توان به صورت ماژولار ترکیب کرد تا در صورت نیاز VIP را کنترل کند. VIV با VIP پیش‌ساخته در سازنده، بدون نیاز به عملیات عایق‌بندی در محل، یکپارچه می‌شود. واحد آب‌بندی VIV را می‌توان به راحتی تعویض کرد. (HL برند شیر برودتی تعیین‌شده توسط مشتریان را می‌پذیرد و سپس شیرهای عایق خلاء را توسط HL می‌سازد. برخی از برندها و مدل‌های شیرها ممکن است نتوانند به شیرهای عایق خلاء تبدیل شوند.)

۶. تمیزی، اگر الزامات اضافی برای تمیزی سطح لوله داخلی وجود دارد. پیشنهاد می‌شود مشتریان لوله‌های فولادی ضد زنگ BA یا EP را به عنوان لوله‌های داخلی VIP انتخاب کنند تا ریزش فولاد ضد زنگ بیشتر کاهش یابد.

۷. فیلتر عایق خلاء: ناخالصی‌های احتمالی و بقایای یخ را از مخزن پاک کنید.

۸. پس از چند روز یا بیشتر خاموشی یا تعمیرات، بسیار ضروری است که قبل از ورود مایع برودتی، لوله‌کشی VI و تجهیزات ترمینال را از قبل خنک کنید تا از ایجاد سرباره یخی پس از ورود مستقیم مایع برودتی به لوله‌کشی VI و تجهیزات ترمینال جلوگیری شود. عملکرد خنک‌سازی اولیه باید در طراحی در نظر گرفته شود. این کار محافظت بهتری را برای تجهیزات ترمینال و تجهیزات پشتیبانی لوله‌کشی VI مانند شیرآلات فراهم می‌کند.

9. مناسب برای سیستم لوله کشی با عایق خلاء (انعطاف پذیر) دینامیک و استاتیک.

۱۰. سیستم لوله‌کشی (انعطاف‌پذیر) عایق خلأ دینامیکی: شامل شیلنگ‌های انعطاف‌پذیر VI و/یا لوله VI، شیلنگ‌های رابط، سیستم شیر عایق خلأ، جداکننده‌های فاز و سیستم پمپ خلأ دینامیکی (شامل پمپ‌های خلأ، شیرهای برقی و گیج‌های خلأ و غیره). طول یک شیلنگ انعطاف‌پذیر VI می‌تواند بر اساس نیاز کاربر سفارشی‌سازی شود.

۱۱. انواع مختلف اتصال: نوع اتصال سرنیزه‌ای خلأ (VBC) و اتصال جوشی قابل انتخاب هستند. نوع VBC نیازی به عملیات عایق‌بندی در محل ندارد.