موارد نیمه هادی و تراشه و راه حل ها

تجهیزات Cryogenic HL سیستم لوله کشی عایق خلاء را برای تأمین نیازها و شرایط صنعت نیمه هادی و تراشه فراهم می کند:

1. سیستم مدیریت Quality: کد لوله کشی فشار ASME B31.3.

2. یک جداکننده فاز ویژه با ورودی و خروجی مایع کرایوژنیک متعدد با عملکرد کنترل اتوماتیک ، نیاز به انتشار گاز ، نیتروژن مایع بازیافت شده و دمای نیتروژن مایع را برآورده می کند.

3. طراحی اگزوز به موقع و به موقع تضمین می کند که تجهیزات ترمینال همیشه در مقدار فشار طراحی شده کار می کنند.

4- سد مایع گاز مایع در انتهای خط لوله VI در لوله عمودی VI قرار می گیرد. سد مایع گاز از اصل مهر و موم گاز برای جلوگیری از گرما از انتهای خط لوله VI به داخل لوله VI استفاده می کند و به طور موثری از بین رفتن نیتروژن مایع در حین سرویس ناپیوسته و متناوب سیستم کاهش می یابد.

5.VI لوله کشی کنترل شده توسط سری دریچه عایق خلاء (VIV): از جمله دریچه خاموش عایق (پنوماتیک) ، دریچه چک عایق خلاء ، شیر تنظیم کننده عایق خلاء و غیره. انواع مختلفی از VIV می تواند برای کنترل VIP در صورت لزوم ترکیب شود. VIV با پیش ساخت VIP در تولید کننده ، بدون درمان عایق در محل ، یکپارچه شده است. واحد مهر و موم Viv را می توان به راحتی جایگزین کرد. (HL مارک دریچه کرایوژنیک را که توسط مشتریان تعیین شده است ، می پذیرد و سپس شیرهای عایق خلاء را توسط HL می سازد. برخی از مارک ها و مدل های دریچه ها ممکن است نتوانند در دریچه های عایق خلاء ساخته شوند.)

6.Cleanship ، در صورت وجود نیازهای اضافی برای پاکیزگی سطح لوله داخلی. پیشنهاد می شود که مشتریان لوله های فولادی BA یا EP را به عنوان لوله های داخلی VIP انتخاب کنند تا بیشتر از بین بروند.

فیلتر عایق بندی شده 7.VacUum: ناخالصی های احتمالی و باقیمانده یخ را از مخزن تمیز کنید.

8. بعد از چند روز یا خاموش کردن طولانی تر یا تعمیر و نگهداری ، لازم است قبل از ورود مایع کرایوژنیک ، لوله کشی VI و ترمینال تجهیزات را پیش بینی کنید ، به طوری که برای جلوگیری از سرباره یخی پس از مایع کرایوژن به طور مستقیم وارد لوله های VI و تجهیزات ترمینال شوید. عملکرد پیش بینی باید در طراحی در نظر گرفته شود. این محافظت بهتر از تجهیزات ترمینال و تجهیزات پشتیبانی لوله کشی VI مانند دریچه ها است.

9.Suit برای هر دو سیستم لوله کشی عایق (انعطاف پذیر) خلاء پویا و استاتیک.

10. سیستم لوله کشی عایق بندی شده خلاء (انعطاف پذیر) دینامیکی: شامل شیلنگهای انعطاف پذیر VI و/یا لوله VI ، شیلنگ های بلوز ، سیستم دریچه عایق خلاء ، جداکننده های فاز و سیستم پمپ خلاء پویا (از جمله پمپ های خلاء ، دریچه های solenoid و دستگاه های خلاء و غیره). طول شیلنگ انعطاف پذیر منفرد VI را می توان با توجه به نیاز کاربر سفارشی کرد.

11. انواع اتصال متنوع: نوع اتصال Bayonet (VBC) نوع و اتصال جوش داده شده را می توان انتخاب کرد. نوع VBC نیازی به درمان عایق بندی شده در محل ندارد.