پروژه MBE تراشه در سالهای گذشته به پایان رسیده است

فن آوری

اپیتاکسی پرتوی مولکولی یا MBE ، یک روش جدید برای رشد فیلم های نازک با کیفیت بالا از بلورها بر روی لایه های بلوری است. در شرایط خلأ بسیار زیاد ، اجاق گاز با انواع اجزای مورد نیاز مجهز شده و بخار تولید می کند ، از طریق سوراخ های تشکیل شده پس از پرتوی اتمی یا مولکولی پرتوی کولیماسیون ، تزریق مستقیم به دمای مناسب بستر تک بلوری ، کنترل پرتوی مولکولی به اسکن بستر به طور همزمان ، می تواند مولکول ها یا اتم ها را در لایه های هم ترازی کریستال ایجاد کند و یک لایه نازک روی "رشد" یک لایه تشکیل دهد.

برای عملکرد طبیعی تجهیزات MBE ، خلوص بالا ، فشار کم و نیتروژن مایع بسیار تمیز لازم است که به طور مداوم و پایدار به محفظه خنک کننده تجهیزات منتقل شود. به طور کلی ، مخزنی که نیتروژن مایع را تأمین می کند ، دارای فشار خروجی بین 0.3MPa و 0.8MPa است. نیتروژن مایع در -196 ℃ در حین حمل و نقل لوله به راحتی در نیتروژن تبخیر می شود. هنگامی که نیتروژن مایع با نسبت گاز مایع در حدود 1: 700 در خط لوله گاز شود ، مقدار زیادی فضای جریان نیتروژن مایع را اشغال می کند و جریان عادی را در انتهای خط لوله نیتروژن مایع کاهش می دهد. بعلاوه ، در مخزن ذخیره نیتروژن مایع ، بقایایی وجود دارد که تمیز نشده است. در خط لوله نیتروژن مایع ، وجود هوای مرطوب نیز منجر به تولید سرباره یخ خواهد شد. اگر این ناخالصی ها در تجهیزات تخلیه شود ، صدمات غیر قابل پیش بینی به تجهیزات وارد می شود.

بنابراین ، نیتروژن مایع در مخزن ذخیره سازی فضای باز با کارایی بالا ، پایداری و تمیز به تجهیزات MBE در کارگاه عاری از گرد و غبار منتقل می شود و فشار کم ، بدون ازت ، بدون ناخالصی ، 24 ساعت بدون وقفه ، چنین سیستم کنترل حمل و نقل یک محصول واجد شرایط

تطبیق تجهیزات MBE

از سال 2005 ، تجهیزات Cryogenic HL (HL CRYO) این سیستم را بهینه سازی و بهبود بخشیده و با تولید کنندگان بین المللی تجهیزات MBE همکاری می کند. تولید کنندگان تجهیزات MBE ، از جمله DCA ، REBER ، با شرکت ما روابط همکاری دارند. تولید کنندگان تجهیزات MBE ، از جمله DCA و REBER ، در تعداد زیادی از پروژه ها همکاری کرده اند.

Riber SA پیشرو در ارائه جهانی محصولات epitaxy پرتو مولکولی (MBE) و خدمات مرتبط با آن برای تحقیقات نیمه هادی مرکب و کاربردهای صنعتی است. دستگاه Riber MBE می تواند لایه های بسیار نازکی از مواد را با کنترل های بسیار زیاد روی لایه قرار دهد. تجهیزات خلاuum HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) به Riber SA مجهز شده است. بزرگترین تجهیزات Riber 6000 و کوچکترین آنها نیز Compact 21 است. در شرایط خوبی است و توسط مشتریان شناخته شده است.

DCA پیشروترین اکسید MBE در جهان است. از سال 1993 ، توسعه سیستماتیک تکنیک های اکسیداسیون ، گرمایش بستر آنتی اکسیدان و منابع آنتی اکسیدانی انجام شده است. به همین دلیل ، بسیاری از آزمایشگاه های برجسته فناوری اکسید DCA را انتخاب کرده اند. سیستم های نیمه هادی کامپوزیت MBE در سراسر جهان استفاده می شود. سیستم گردش نیتروژن مایع VJ تجهیزات Cryogenic HL (HL CRYO) و تجهیزات MBE چندین مدل DCA در بسیاری از پروژه ها مانند مدل P600 ، R450 ، SGC800 و غیره تجربه مطابقت دارند.